解密電子特氣【N2O】

電子特種氣體是電子氣體的一個重要分支，是集成電路、顯示面板等電子工業生產中不可或缺的原材料。電子特氣種類眾多，廣泛應用于離子注入、刻蝕、氣相沉積、摻雜等環節，被稱為集成電路、液晶面板、LED及光伏等材料的“糧食”和“源”，決定了器件的最終良率和可靠性。

一氧化二氮作為電子氣體主要用于半導體光電器件研制生產的介質膜工藝，是直接影響光電器件質量的不可替代的關鍵點子氣體。分析報告高純一氧化二氮是PECVD工藝積淀SiO2膜，掩蔽膜、鈍化膜、器件抗反增透膜的重要原料。N2O純度直接影響到SiO2膜純度，如果雜質含量高，沉積的SiO2膜顆粒多，不光亮，產商表面折射率不均勻等現象，不利于光刻工藝的進行。如果N2O中微量水含量高，可造成SiO2膜含氫量大，致密性達不到要求，導致器件工作狀態不穩定，抗電磁輻射能力不強。因此為保證光電器件產品的質量和可靠性，要求一氧化二氮純度必須在5N（99.999%）以上，技術壁壘較高。

隨著科學技術向高、精、尖發展，對各種原材料“純度”的要求開始越來越高。但是，高純氣體所能提供的數量通?？偸禽^少。由于技術水平限制，我國高純N2O大多從國外進口，長期處于高純N2O供應嚴重不足的狀態，價格昂貴的弊端越來越顯著。