半導體產業鏈之電子特種氣體行業深度研究
2021/12/16
特種氣體主要包括高純氣體、電子氣體、標準氣體三大類，電子特種氣體（簡稱電子特氣）是特種氣體的 一個重要分支，是超大規模集成電路（IC）、平面顯示器件（LCD、LED、OLED）、太陽能電池等電子工業生產不 可或缺的原材料。
通常半導體生產行業，將氣體劃分成常用氣體和特殊氣體兩類。其中，常用氣體指集中供給而且使用非常 多的氣體，比如 N2、H2、O2、Ar、He 等。特種氣體指半導體生產環節中，比如延伸、離子注進、摻和、洗滌、 遮掩膜形成過程中使用到一些化學氣體，也就是氣體類別中的電子氣體，比如高純度的 SiH4、PH3、AsH3、B2H6、 N2O、NH3、SF6、NF3、CF4、BCl3、BF3、HCl、Cl2等，在 IC 生產環節中，使用的電子氣體有差不多有 100 多種， 核心工段常見的在 30 種左右。正是這些氣體通過不同的制程使硅片具有半導體性能，它又決定了集成電路的性 能、集成度、成品率，即使是某一種某一個特定雜質超標，都將導致質量嚴重缺陷，嚴重時會因不合格氣體的 擴散，導致整個生產線被污染，乃至全面癱瘓。因此，電子氣體是制造過程基礎關鍵材料，是名副其實的電子 工業“血液”。
（報告觀點屬于原作者，僅供參考。來源未來智庫）